Libros de plasma etching
6 libros en este género
Photons and low energy particles in surface processing
James H. Brannon
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Etching in microsystem technology
J. M. Köhler
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Dry etching for microelectronics
Ronald A. Powell
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Introduction to microlithography
Larry F. Thompson
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Applications of plasma processes to VLSI technology
Takuo Sugano
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Introduction to microlithography
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