Livres de microfabrication
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The physics of microfabrication
Ivor Brodie
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Fabrication and design of resonant microdevices
Behraad Bahreyni
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Microscale Combustion and Power Generation
Yiguang Ju
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Micromachining and microfabrication process technology IX
Mary Ann Perez-Maher
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Makers
Chris Anderson
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Science and technology of microfabrication
R. E. Howard
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